濾料過濾效率測試系統
空氣濾和空調濾綜合試驗臺
風廓線雷達
非接觸流量測試雷達
高溫爐(氫化爐，超高真空
無掩膜光刻機 激光直寫系
射頻發生器 射頻電源
太陽模擬器
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