光刻系統
MDA-600S光刻機
光刻機又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統,光刻機,紫外曝光機等;
MIDAS為全球領先的半導體設備供應商,多年來致力于掩模對準光刻機和勻膠機研發與生產,并且廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領域;該公司是目前世界上最早將光刻機商品化的公司之一,擁有雄厚的技術研發力量和設備生產能力;并且其設備被眾多著名企業、研發中心、研究所和高校所采用;以優秀的技術、精湛的工藝和良好的服務,贏得了用戶的青睞。
產地:韓國MIDAS公司,唯一能做到圖形化藍寶石襯底(PSS)光刻機,高性價比
型號:MDA-600S
廠家鏈接:http://www.midas-china.com.cn/
主要特點:
- 光(guang)源強(qiang)度可控(kong);
- 紫外(wai)曝光,深(shen)紫外(wai)曝光(Option);
- 系統控(kong)制(zhi):手(shou)動、半自動和全自動控(kong)制(zhi);
- 曝光模式:真空接(jie)觸(chu)模式(接(jie)觸(chu)力可(ke)調(diao)),Proximity接(jie)近模式, 投(tou)影模式;
- 真空(kong)吸盤范圍可調(diao);
- 專利技(ji)術:可雙(shuang)面對準,可雙(shuang)面光刻(ke),具有IR和(he)CCD模式
- 雙CCD顯微鏡系統,最大放大1000倍,顯示屏直接(jie)調節,比傳統目鏡對準更方便(bian)快捷,易(yi)于(yu)操作。
- 特殊(shu)的基底卡(ka)盤可定做;
- 具有楔形(xing)補償功能;