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MDA-80MS
簡(jian)單的操作和安裝，PLC操作與(yu)PC控制，小型半自(zi)動(dong)系統，圖像抓取和數據(ju)記錄，100多(duo)個程序配方
?PC控制(zhi)，半自動操作(zuo)
?掩模(mo)版(ban)尺寸(cun)達到(dao)9英寸(cun)
?基板(ban)尺(chi)寸為8英(ying)寸
?均勻光束尺(chi)寸8.25*8.25英寸
?光(guang)源(yuan)：紫外(wai)線燈，1 kW
?光束波長350~450 nm
?光束均勻性 <±5%
?365 nm強度 ~25 mW/?
?手動操作(zuo)
?對準精度1 um
?操作模式：軟、硬、真(zhen)空接(jie)(jie)觸(chu)和接(jie)(jie)近
?工藝分辨率：1 um@1 um PR厚(hou)度(du)，真(zhen)空(kong)接觸
?尺寸（mm）：1400（寬）*1100（深）*1600（高）
聯系人(ren)：張垚
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