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MDA-80MS
簡單的操(cao)作和安裝，PLC操(cao)作與PC控制，小型半(ban)自動系統，圖像抓取和數(shu)據(ju)記錄，100多個程序(xu)配方(fang)
?PC控(kong)制，半(ban)自動操作
?掩模(mo)版尺寸達到9英(ying)寸
?基板尺寸為8英(ying)寸
?均勻光(guang)束(shu)尺(chi)寸(cun)(cun)8.25*8.25英寸(cun)(cun)
?光源：紫外線燈(deng)，1 kW
?光(guang)束波長350~450 nm
?光束均勻性 <±5%
?365 nm強度 ~25 mW/?
?手動操作
?對準精度1 um
?操作模式：軟、硬、真(zhen)空接觸和接近
?工(gong)藝分辨率(lv)：1 um@1 um PR厚度，真(zhen)空接(jie)觸
?尺寸（mm）：1400（寬）*1100（深）*1600（高）
聯系人：張垚
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