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MDA-80MS
簡單的操作(zuo)和安裝，PLC操作(zuo)與PC控制，小(xiao)型半自動系統，圖像抓取和數據記錄，100多個程序配方
?PC控(kong)制，半自動操(cao)作
?掩模版尺(chi)寸(cun)達到9英(ying)寸(cun)
?基板尺寸(cun)為8英寸(cun)
?均勻光束(shu)尺(chi)寸(cun)8.25*8.25英寸(cun)
?光(guang)源：紫外線(xian)燈，1 kW
?光束波長350~450 nm
?光束均勻性 <±5%
?365 nm強度 ~25 mW/?
?手動操作(zuo)
?對準精度(du)1 um
?操作模(mo)式：軟(ruan)、硬、真空接觸和接近
?工藝分辨(bian)率(lv)：1 um@1 um PR厚度，真(zhen)空接觸
?尺寸（mm）：1400（寬）*1100（深(shen)）*1600（高）
聯系人：張垚
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