MIDAS為全球領(ling)先的(de)半導體(ti)設(she)備供(gong)應商(shang),多(duo)(duo)年來致力于掩(yan)模對準光刻機(ji)和(he)(he)勻膠機(ji)研發(fa)與生(sheng)產,并(bing)且廣(guang)泛應用于半導體(ti)、微電子、生(sheng)物器件和(he)(he)納米科技(ji)領(ling)域;該公司是目前世界(jie)上最(zui)早將光刻機(ji)商(shang)品化的(de)公司之一,擁有雄厚(hou)的(de)技(ji)術研發(fa)力量(liang)和(he)(he)設(she)備生(sheng)產能(neng)力;并(bing)且其設(she)備被眾多(duo)(duo)著名企業、研發(fa)中(zhong)心(xin)、研究(jiu)所(suo)和(he)(he)高(gao)校所(suo)采用;以優秀的(de)技(ji)術、精湛的(de)工藝和(he)(he)良好的(de)服務,贏得了用戶的(de)青睞。
型號:MDA-80SA
廠家鏈接:http://www.midas-china.com.cn/
易于操作(zuo)的(de)用戶(hu)界面,PLC操作(zuo)與(yu)PC控制,圖(tu)像抓取和(he)數據日(ri)志,100多個程序(xu)配方(fang),電(dian)(dian)動操縱桿控制,電(dian)(dian)動變焦(jiao)顯微鏡(jing)和(he)樣品臺
?操(cao)縱桿(gan)控制(zhi),半自動
?掩模版尺(chi)寸高達9英寸
?基板尺寸(cun)6~8英寸(cun)
?均勻光束尺寸10.25*10.25英(ying)寸
?紫(zi)外(wai)線光源:紫(zi)外(wai)線燈(deng),2 kW
?光束(shu)波(bo)長350~450 nm
?光束均(jun)勻性<±5%
?365 nm強度~25 mW/?
?定位(wei)方法:操縱(zong)桿控(kong)制,半(ban)自動
?對準精(jing)度(du)1 um
?操作模式:軟、硬、真空接(jie)觸和接(jie)近(jin)
?工(gong)藝(yi)分(fen)辨(bian)率:1 um@1 um PR厚度,真空(kong)接觸
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