MIDAS為(wei)全球(qiu)領(ling)先的(de)(de)半導體(ti)設(she)(she)備(bei)供(gong)應(ying)商，多年(nian)來致力(li)(li)于(yu)掩模(mo)對(dui)準光刻(ke)機(ji)(ji)和(he)(he)勻(yun)膠(jiao)機(ji)(ji)研發(fa)(fa)與(yu)生(sheng)產(chan)，并且廣泛應(ying)用(yong)(yong)(yong)于(yu)半導體(ti)、微電(dian)子、生(sheng)物器件(jian)和(he)(he)納米科技(ji)(ji)領(ling)域；該公(gong)司是(shi)目(mu)前世界上最早將光刻(ke)機(ji)(ji)商品化的(de)(de)公(gong)司之一，擁有雄(xiong)厚的(de)(de)技(ji)(ji)術(shu)研發(fa)(fa)力(li)(li)量(liang)和(he)(he)設(she)(she)備(bei)生(sheng)產(chan)能(neng)力(li)(li)；并且其設(she)(she)備(bei)被(bei)眾多著名企業(ye)、研發(fa)(fa)中心、研究所和(he)(he)高(gao)校所采(cai)用(yong)(yong)(yong)；以優秀的(de)(de)技(ji)(ji)術(shu)、精湛的(de)(de)工藝和(he)(he)良好的(de)(de)服務(wu)，贏得了用(yong)(yong)(yong)戶的(de)(de)青睞。

型號(hao)：MDA-80SA

廠家(jia)鏈(lian)接：http://www.midas-china.com.cn/

易于操(cao)作(zuo)的用戶界面(mian)，PLC操(cao)作(zuo)與PC控(kong)制，圖像(xiang)抓取和(he)數據日(ri)志，100多(duo)個(ge)程序配方(fang)，電動(dong)(dong)操(cao)縱(zong)桿(gan)控(kong)制，電動(dong)(dong)變焦(jiao)顯微鏡和(he)樣品(pin)臺

?操縱(zong)桿控制，半自動(dong)

?掩模(mo)版尺(chi)寸(cun)高(gao)達(da)9英(ying)寸(cun)

?基板尺寸(cun)6~8英寸(cun)

?均勻(yun)光束尺(chi)寸(cun)(cun)10.25*10.25英寸(cun)(cun)

?紫外(wai)線光源：紫外(wai)線燈，2 kW

?光束(shu)波長350~450 nm

?光束(shu)均勻(yun)性<±5%

?365 nm強度~25 mW/?

?定位方法：操縱桿控制(zhi)，半(ban)自(zi)動(dong)

?對準精度1 um

?操作模式：軟(ruan)、硬(ying)、真空接觸和接近(jin)

?工藝分辨率：1 um@1 um PR厚度，真空(kong)接觸