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操(cao)作(zuo)簡單，可編程控制(zhi)(zhi)器（PLC）操(cao)作(zuo)，PC控制(zhi)(zhi)，圖像采集(ji)和(he)數據記錄(lu)，100多個程序配方(fang)，電動操(cao)縱桿控制(zhi)(zhi)，電動變焦顯微鏡(jing)和(he)工作(zuo)臺，顯微鏡(jing)位(wei)置控制(zhi)(zhi)系統(tong)
?操縱桿(gan)控制，半自動
?掩模版尺寸高達(da)14英(ying)寸
?基(ji)板尺寸8~12英(ying)寸
?均勻光束尺(chi)寸(cun)13.25*13.25英寸(cun)
?紫(zi)外線(xian)光源：紫(zi)外線(xian)燈，2 kW，5 kW
?光束(shu)波長：350~450 nm
?光束均勻性：<±5%
?365 nm強(qiang)度：2 kW:~25 mW/?，5 kW:~45 mW/?
?定位方(fang)法：操縱(zong)桿控制(zhi)，半自動
?對準精度(du)：1 um
?操作模式：軟、硬、真空(kong)接(jie)觸和接(jie)近
?工藝分(fen)辨率(lv)：2 um@1 um PR厚度(du)，真空(kong)接觸
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