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操(cao)作(zuo)(zuo)簡單，可編程控(kong)制器(qi)（PLC）操(cao)作(zuo)(zuo)，PC控(kong)制，圖像采集(ji)和(he)(he)數據(ju)記錄(lu)，100多(duo)個程序(xu)配方(fang)，電動(dong)操(cao)縱桿控(kong)制，電動(dong)變焦顯(xian)微鏡(jing)和(he)(he)工作(zuo)(zuo)臺(tai)，顯(xian)微鏡(jing)位置控(kong)制系統
?操(cao)縱桿控制，半自動
?掩(yan)模版尺(chi)寸高達14英寸
?基板尺寸(cun)8~12英寸(cun)
?均勻光束尺(chi)寸(cun)13.25*13.25英寸(cun)
?紫(zi)外線光源：紫(zi)外線燈，2 kW，5 kW
?光束(shu)波(bo)長：350~450 nm
?光(guang)束均(jun)勻性：<±5%
?365 nm強(qiang)度(du)：2 kW:~25 mW/?，5 kW:~45 mW/?
?定位方法：操縱桿控制，半自動
?對準精度：1 um
?操作(zuo)模式：軟、硬、真空接(jie)觸和接(jie)近
?工藝分辨率：2 um@1 um PR厚(hou)度(du)，真空接觸
聯系人：張(zhang)垚
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