MDA-40FA
操(cao)作簡單,PLC操(cao)作,PC控(kong)制(zhi),圖像采集和(he)數據記錄,100多個程序配方,顯微鏡位置控(kong)制(zhi)系統(tong),自(zi)動對齊標記搜索功能
類型:全自(zi)動
掩(yan)模版(ban)尺寸(cun):最(zui)大5英寸(cun)
基板尺寸:2~4英寸
均(jun)勻光束尺寸:6.25*6.25英(ying)寸
紫外光源:紫外燈(deng),350W
光束波長(chang):350~450nm
光束(shu)均(jun)勻度<±3%
365 nm強度 ~25 mW/?
對(dui)齊方式(shi):全自動
對準精(jing)度(du):1 um
加工(gong)方式:軟(ruan)、硬、真空接(jie)觸(chu)、接(jie)近
工(gong)藝分辨率:1μm@1μm PR厚(hou)度,真空接觸
MDA-60FA
操作簡單(dan),PLC操作,PC控制,圖像采集和數據(ju)記(ji)錄,100多(duo)個程(cheng)序配方,顯微鏡位(wei)置控制系統,自(zi)動(dong)對齊標記(ji)搜(sou)索功能(neng)
類型:全自(zi)動
掩模版尺寸(cun):最大7英寸(cun)
基板尺寸:4~6英寸
均(jun)勻光束尺寸:6.25*6.25英寸
紫外光(guang)源:紫外燈,350W
光束波(bo)長(chang):350~450nm
光束均(jun)勻(yun)度(du)<±5%
365 nm強度 ~25 mW/?
對齊方式:全自動(dong)
對準精(jing)度(du):1 um
加工(gong)方式:軟(ruan)、硬、真(zhen)空接(jie)觸、接(jie)近
工藝分辨率:1μm@1μm PR厚度,真空(kong)接觸
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