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MDA-12FA
操(cao)(cao)作(zuo)簡單，PLC操(cao)(cao)作(zuo)，PC控制，圖(tu)像采集和(he)數據記(ji)錄(lu)，100多個程序(xu)配方(fang)，顯微鏡位置控制系統，自動對齊標記(ji)搜索功能
類(lei)型：全自(zi)動
掩模版尺寸：最大14英寸
基(ji)板尺寸：8~12英寸
均勻梁尺寸：13.25*13.25英寸
紫外線光源：紫外線燈，2KW，5KW
光束(shu)波長：350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強度 2千瓦：~25毫瓦/?5千瓦：~45毫瓦/?
對齊方式：全自動
對(dui)準精(jing)度：1 um
加工(gong)方(fang)式：軟、硬、真空接觸、接近
工藝分辨率(lv)：2 um@1 um PR厚度，真空接觸
聯(lian)系(xi)人：張垚(yao)
手機(ji)：13916855175
電(dian)話：021-56035615
地址： 上海市(shi)楊浦區松花江路251弄白玉蘭(lan)環(huan)保廣場3號902室(shi)
