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MDA-12FA
操作簡單(dan)，PLC操作，PC控制，圖像采集(ji)和數據記錄，100多個程序配(pei)方，顯微(wei)鏡位置控制系(xi)統，自動對齊標記搜索功能(neng)
類(lei)型：全自(zi)動(dong)
掩模版尺(chi)寸(cun)：最大14英寸(cun)
基板尺(chi)寸(cun)：8~12英寸(cun)
均勻(yun)梁尺寸：13.25*13.25英寸
紫外線(xian)光源：紫外線(xian)燈，2KW，5KW
光束波長：350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強度 2千瓦：~25毫瓦/?5千瓦：~45毫瓦/?
對齊(qi)方式(shi)：全(quan)自(zi)動(dong)
對準(zhun)精(jing)度：1 um
加(jia)工方式：軟、硬(ying)、真空(kong)接(jie)觸、接(jie)近
工(gong)藝分辨率：2 um@1 um PR厚度，真空(kong)接觸
聯系人：張垚
手機：13916855175
電話：021-56035615
郵箱：info@cqjswh.com
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