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MDA-12FA
操作簡單，PLC操作，PC控制(zhi)，圖(tu)像采(cai)集(ji)和數(shu)據記錄，100多個程序配方(fang)，顯微鏡(jing)位置控制(zhi)系統，自動(dong)對齊標記搜索功(gong)能
類(lei)型：全(quan)自動(dong)
掩模版尺寸(cun)：最(zui)大14英(ying)寸(cun)
基板(ban)尺寸(cun)：8~12英寸(cun)
均勻(yun)梁(liang)尺寸：13.25*13.25英寸
紫外(wai)線光源：紫外(wai)線燈，2KW，5KW
光(guang)束波(bo)長：350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強度 2千瓦：~25毫瓦/?5千瓦：~45毫瓦/?
對齊(qi)方式：全自動
對準(zhun)精度(du)：1 um
加工方式：軟(ruan)、硬、真空接觸、接近
工藝分辨率：2 um@1 um PR厚度，真(zhen)空接觸
聯系(xi)人：張垚
手機：13916855175
電話：021-56035615
郵箱(xiang)：info@cqjswh.com
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