MDA-12FA
操作簡單,PLC操作,PC控制(zhi),圖(tu)像采(cai)集(ji)和數(shu)據記錄,100多個程序配方(fang),顯微鏡(jing)位置控制(zhi)系統,自動(dong)對齊標記搜索功(gong)能
類(lei)型:全(quan)自動(dong)
掩模版尺寸(cun):最(zui)大14英(ying)寸(cun)
基板(ban)尺寸(cun):8~12英寸(cun)
均勻(yun)梁(liang)尺寸:13.25*13.25英寸
紫外(wai)線光源:紫外(wai)線燈,2KW,5KW
光(guang)束波(bo)長:350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強度 2千瓦:~25毫瓦/?5千瓦:~45毫瓦/?
對齊(qi)方式:全自動
對準(zhun)精度(du):1 um
加工方式:軟(ruan)、硬、真空接觸、接近
工藝分辨率:2 um@1 um PR厚度,真(zhen)空接觸
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