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MDA-20FA
操作(zuo)簡(jian)單，PLC操作(zuo)，PC控制，圖像采集和數據(ju)記錄，100多個程序(xu)配方(fang)，顯微鏡位(wei)置控制系統，自動(dong)對齊標(biao)記搜索功能(neng)
類型：全(quan)自動
掩模版(ban)尺寸(cun)：大尺寸(cun)訂制(zhi)
基板(ban)尺寸(cun)：大尺寸(cun)訂制
均勻光束尺寸：大(da)尺寸訂制
紫(zi)外線(xian)(xian)光源：紫(zi)外線(xian)(xian)燈(deng)，2KW，5KW
光束波長：350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強度 2千瓦：~25毫瓦/?5千瓦：~45毫瓦/?
對齊方式：全(quan)自動
對準精度(du)：1 um
加工方(fang)式：軟、硬、真空接觸、接近
過程分辨率(lv)：透(tou)鏡：>3 um，反射鏡：>9 um
聯系(xi)人：張垚
手機(ji)：13916855175
電話：021-56035615
郵箱：info@cqjswh.com
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