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MDA-20FA
操作(zuo)簡單，PLC操作(zuo)，PC控制，圖像采集和數據記錄(lu)，100多個程(cheng)序配(pei)方，顯微鏡位置控制系統，自動對齊標記搜索功能
類型：全(quan)自(zi)動
掩模版尺寸：大尺寸訂制
基板尺寸：大尺寸訂制
均(jun)勻光束尺寸：大尺寸訂制
紫(zi)外線光(guang)源：紫(zi)外線燈，2KW，5KW
光(guang)束波長：350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強度 2千瓦：~25毫瓦/?5千瓦：~45毫瓦/?
對(dui)齊方(fang)式：全自(zi)動
對準(zhun)精度：1 um
加(jia)工(gong)方式：軟、硬、真空接(jie)觸、接(jie)近
過(guo)程分辨(bian)率(lv)：透鏡：>3 um，反射鏡：>9 um
聯系人(ren)：張(zhang)垚
手機：13916855175
電話(hua)：021-56035615
郵(you)箱：[email protected]
地址(zhi)： 上海(hai)市楊浦區松(song)花江路251弄白玉蘭環保廣場3號902室
