MDA-20FA
操作(zuo)簡單,PLC操作(zuo),PC控制,圖像采集和數據記錄(lu),100多個程(cheng)序配(pei)方,顯微鏡位置控制系統,自動對齊標記搜索功能
類型:全(quan)自(zi)動
掩模版尺寸:大尺寸訂制
基板尺寸:大尺寸訂制
均(jun)勻光束尺寸:大尺寸訂制
紫(zi)外線光(guang)源:紫(zi)外線燈,2KW,5KW
光(guang)束波長:350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強度 2千瓦:~25毫瓦/?5千瓦:~45毫瓦/?
對(dui)齊方(fang)式:全自(zi)動
對準(zhun)精度:1 um
加(jia)工(gong)方式:軟、硬、真空接(jie)觸、接(jie)近
過(guo)程分辨(bian)率(lv):透鏡:>3 um,反射鏡:>9 um
聯系人(ren):張(zhang)垚
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