MDA-20FA
操作簡單,PLC操作,PC控制(zhi),圖像采集(ji)和數(shu)據記錄,100多個程序配(pei)方,顯微(wei)鏡位置控制(zhi)系統(tong),自(zi)動(dong)對齊標記搜索(suo)功能
類型:全自(zi)動
掩模版(ban)尺寸:大尺寸訂制
基(ji)板尺寸:大尺寸訂(ding)制(zhi)
均(jun)勻光束尺寸:大尺寸訂制
紫(zi)外(wai)線光源:紫(zi)外(wai)線燈(deng),2KW,5KW
光(guang)束波長:350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強度 2千瓦:~25毫瓦/?5千瓦:~45毫瓦/?
對齊方式:全自動(dong)
對準精(jing)度:1 um
加工(gong)方(fang)式:軟(ruan)、硬、真空接觸(chu)、接近
過程分辨率:透(tou)鏡(jing):>3 um,反(fan)射鏡(jing):>9 um
聯系人(ren):張垚(yao)
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