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MDE-200SC
易于操作(zuo)和(he)安裝，處理各(ge)種尺寸的(de)基板，掃(sao)描(miao)和(he)步進式曝光
類型(xing)：掃描步進曝光(guang)
掩模版尺(chi)寸：大尺(chi)寸訂制
基板尺寸：大尺寸訂制
均勻(yun)光束尺(chi)寸(cun)：大尺(chi)寸(cun)訂制
紫(zi)外光源：紫(zi)外燈，1KW
光束波長(chang)：350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強度 ~25 mW/?
對齊方式：無對準
對準(zhun)精度：無對準(zhun)
加工方式：軟、硬、真空(kong)接觸、接近
工藝分辨率(lv)：2 um@1 um PR厚度，真空接(jie)觸
聯系(xi)人(ren)：張垚
手(shou)機：13916855175
電話(hua)：021-56035615
郵箱：info@cqjswh.com
地(di)址： 上海市楊浦(pu)區松(song)花(hua)江路251弄白玉蘭環保廣(guang)場3號902室
