MDE-200SC
易(yi)于操作和安(an)裝,處(chu)理各(ge)種尺寸的基板(ban),掃(sao)描和步進式曝光
類(lei)型:掃描步進(jin)曝(pu)光(guang)
掩模版尺寸(cun):大尺寸(cun)訂(ding)制(zhi)
基板尺(chi)(chi)寸(cun):大尺(chi)(chi)寸(cun)訂制
均勻光束尺(chi)寸(cun):大尺(chi)寸(cun)訂制
紫外光(guang)源:紫外燈,1KW
光束(shu)波長:350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強度 ~25 mW/?
對齊方式:無對準
對(dui)準精度:無對(dui)準
加工(gong)方式(shi):軟、硬、真空接觸、接近
工藝分辨率:2 um@1 um PR厚度,真空接觸
聯系(xi)人:張(zhang)垚(yao)
手(shou)機(ji):13916855175
電(dian)話(hua):021-56035615
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