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光刻系統

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SPIN-3000A勻膠機

SPIN-3000A勻膠機

勻膠機
勻膠機有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,既在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。勻膠機可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。

由我司(si)提供的勻膠機,在高(gao)(gao)校、研(yan)究所(suo)及半(ban)導(dao)體產業(ye)享有很高(gao)(gao)的聲譽,相信能(neng)滿足您(nin)多種不同(tong)應用要求。


產地:韓國MIDAS公司,

型(xing)號(hao):SPIN-3000A

廠家鏈接:http://www.midas-china.com.cn/

SPIN-3000A

觸(chu)摸屏控制,各種涂料溶(rong)液(ye)(ye)的緊湊單(dan)元,可編(bian)程配方(fang)管(guan)理,操作(zuo)簡單(dan),采(cai)用排液(ye)(ye),排液(ye)(ye)孔在碗中

?勻膠機

?基板尺寸: -最多8英寸

?轉(zhuan)速(su):300~7000 rpm(空載時),誤差小于3%

?菜單程序:50步,50個配(pei)方

?卡盤材料:陽極氧(yang)化鋁(lv)、縮醛

?碗尺寸(cun):12英寸(cun)

?碗材料:不銹(xiu)鋼

?重量(liang)(kg)30

?尺寸(mm)390(寬)*570(深)*400(高)


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