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光刻系統

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THU SERIES


THU SERIES

Midas推出了一個獨立的熱納米壓印、熱壓印和UV納米壓印站:THU系列 THU400/600/800。這種多功能工具提供各種納米壓印功能:熱納米壓印、熱壓印、UV納米壓印、熱壓印和UV納米壓印組合。該過程是可編程的,具有用戶友好的界面。它提供高質量和可重復的結果。

?基板尺寸 THU 400:最大4英寸,THU 600:最大6英寸,THU 800:最大8英寸圓形,不規則形狀和尺寸兼容

?壓印區(qu)域(yu)與基(ji)板相同

?模板尺寸(cun)THU 400:最大(da)4英寸(cun),THU 600:最大(da)6英寸(cun),THU 800:最大(da)8英寸(cun)

?壓印壓力:高(gao)達12巴(ba)

?壓印/壓花溫(wen)度:高達300°C

?紫外線燈功率:500 W

?對準功能:可(ke)選配(pei)


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