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光刻系統

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小型實驗室配(pei)有旋涂機、熱板、去(qu)離子水系統(tong)和工藝槽。該設(she)備能有效地(di)對大學(xue)和研(yan)究中心的(de)4英寸樣品進行光刻。

?組成:旋涂機(Spin-1200T)、熱(re)板、D.I水系統

?排水管

?排水槽

?排氣

?氮氣槍

?D.I水槍

?尺寸(cun):1300(寬(kuan))*750(深)*1800(高)


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