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光刻系統

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小型實驗室配有旋涂(tu)機、熱板(ban)、去離子水(shui)系統和工藝槽(cao)。該設備能(neng)有效地(di)對大學和研(yan)究中心的(de)4英寸樣品進行(xing)光刻。

?組成:旋(xuan)涂(tu)機(Spin-1200T)、熱板(ban)、D.I水系統

?排水管

?排水槽(cao)

?排氣

?氮(dan)氣(qi)槍

?D.I水槍

?尺寸:1300(寬(kuan))*750(深)*1800(高)


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