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MINILAB
小型實驗(yan)室(shi)配(pei)有旋涂(tu)機、熱板、去(qu)離(li)子水系統和工藝槽。該設備能有效(xiao)地對大學和研(yan)究中(zhong)心的4英(ying)寸樣品進行光(guang)刻(ke)。
?組成(cheng)：旋涂機（Spin-1200T）、熱板、D.I水系統
?排(pai)水管(guan)
?排水(shui)槽
?排氣
?氮氣(qi)槍(qiang)
?D.I水槍
?尺寸：1300（寬）*750（深）*1800（高(gao)）
聯系(xi)人：張垚
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