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MBE系統
帶快速進樣(yang)室的獨立 MBE 系統
樣品沉(chen)積(ji)室配備了用于分析儀器等的其他端(duan)口。
根(gen)據蒸發源的(de)(de)類型和(he)數量以及(ji)基板大小，可(ke)提供不(bu)同的(de)(de)標(biao)準襯底尺(chi)寸(cun)：直徑300mm、直徑450mm 和(he) 直徑570mm（根(gen)據要求的(de)(de)其他尺(chi)寸(cun)）。
聯系人(ren)：張垚
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地址： 上(shang)海市(shi)楊浦區松花江(jiang)路(lu)251弄白玉蘭環保廣場3號902室
