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MBE系統
帶快速進樣室的獨立 MBE 系統
樣品沉積(ji)室配(pei)備(bei)了(le)用于分(fen)析儀器等的其他端(duan)口。
根據蒸(zheng)發(fa)源的(de)類型和(he)數(shu)量以及(ji)基板(ban)大(da)小(xiao)，可提(ti)供(gong)不同的(de)標(biao)準襯(chen)底(di)尺(chi)寸(cun)：直(zhi)(zhi)徑(jing)300mm、直(zhi)(zhi)徑(jing)450mm 和(he) 直(zhi)(zhi)徑(jing)570mm（根據要求的(de)其他尺(chi)寸(cun)）。
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