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MBE系統
帶快速進(jin)樣室的獨立 MBE 系統
樣品(pin)沉積室配備(bei)了(le)用于分(fen)析儀(yi)器等的其(qi)他端口(kou)。
根據(ju)(ju)蒸發源的(de)類型和數量以及基板大小，可提供不同的(de)標準襯底尺寸：直(zhi)(zhi)徑300mm、直(zhi)(zhi)徑450mm 和 直(zhi)(zhi)徑570mm（根據(ju)(ju)要求的(de)其(qi)他尺寸）。
聯(lian)系人：張垚
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