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半導體測試設備

  • 真空摩擦學系統
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真空摩擦學系統真空摩擦學系統真空摩擦學系統

真空摩擦學系統

真空摩擦學系統

摩擦(ca)腔室(shi)

用于研究超高真空或大(da)氣環(huan)境條件下兩個表面之間的摩擦(ca)性質

  • 應用負載從 1 到 10N
  • 摩擦系數測量從 0.001 到 2
  • 應用負載的閉環控制


  • 摩擦球夾具使用2軸操縱器(帶加熱)(最多1/2")
  • 1 軸操縱器(帶加熱和冷卻)用于平面樣品夾具
  • 壓力范圍從10-9 mbar到1bar
  • 可以在下面氣氛中使用:氧氣,氫氣,水蒸氣,簡單的碳氫化合物
  • 模塊化設計允許連接沉積模塊(MBE、PLD、濺射)或分析模塊(XPS、UPS、ARPES、IR等)


專利號(hao) n° FR 15 55388, 標題:用于測量摩(mo)擦力的(de)高精(jing)度裝置


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