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DA-80FA
操作(zuo)簡單(dan)，PLC操作(zuo)，PC控制，圖像(xiang)采集和(he)數據記錄(lu)，100多個(ge)程(cheng)序配方，顯微(wei)鏡位置控制系統，自(zi)動對齊標記搜(sou)索(suo)功能
類型：全自動
掩模版尺(chi)寸：最大9英(ying)寸
基板尺(chi)寸：6~8英寸
均勻光束尺寸：10.25*10.25英寸
紫(zi)外線光源：紫(zi)外線燈，2KW
光束波長：350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強度 ~25 mW/?
對齊方式：全自動
對準精度：1 um
加工(gong)方式(shi)：軟(ruan)、硬(ying)、真空接觸、接近
工(gong)藝分辨(bian)率：1μm@1μm PR厚度，真空接觸
聯系人：張垚
手機：13916855175
電話(hua)：021-56035615
郵箱：info@cqjswh.com
地址： 上海市楊浦區松花(hua)江路251弄白(bai)玉(yu)蘭(lan)環保(bao)廣場(chang)3號902室
