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DA-80FA
操(cao)作簡單，PLC操(cao)作，PC控制，圖像采(cai)集和數據記錄，100多個程序(xu)配方，顯微鏡位置(zhi)控制系統，自動對齊標記搜(sou)索功能
類型：全自動
掩模版尺寸：最大(da)9英寸
基板尺寸：6~8英寸
均(jun)勻光束尺(chi)寸：10.25*10.25英寸
紫外線光源：紫外線燈，2KW
光束波長：350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強度 ~25 mW/?
對齊(qi)方式：全自(zi)動
對準精(jing)度：1 um
加工方式：軟、硬、真(zhen)空接(jie)觸、接(jie)近
工(gong)藝分辨率(lv)：1μm@1μm PR厚度，真空(kong)接觸
聯系人：張垚
手(shou)機：13916855175
電話：021-56035615
郵箱(xiang)：[email protected]
地址： 上海市(shi)楊浦區松花江(jiang)路251弄白玉蘭環保(bao)廣場3號902室
