DA-80FA
操作(zuo)簡單(dan),PLC操作(zuo),PC控制,圖像(xiang)采集和(he)數據記錄(lu),100多個(ge)程(cheng)序配方,顯微(wei)鏡位置控制系統,自(zi)動對齊標記搜(sou)索(suo)功能
類型:全自動
掩模版尺(chi)寸:最大9英(ying)寸
基板尺(chi)寸:6~8英寸
均勻光束尺寸:10.25*10.25英寸
紫(zi)外線光源:紫(zi)外線燈,2KW
光束波長:350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強度 ~25 mW/?
對齊方式:全自動
對準精度:1 um
加工(gong)方式(shi):軟(ruan)、硬(ying)、真空接觸、接近
工(gong)藝分辨(bian)率:1μm@1μm PR厚度,真空接觸
聯系人:張垚
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