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超高真空組件

  • 俄歇電子能量譜組件
俄歇電子能量譜組件

俄歇電子能量譜組件

俄歇電子能量譜組件
俄歇電子能譜(AES、Auger)是一種利用高能電子束為激發源的表面分析技術. AES分析區域受激原子發射出具有元素特征的俄歇電子。俄歇電子在固體中運行也同樣要經歷頻繁的非彈性散射,能逸出固體表面的僅僅是表面幾層原子所產生的俄歇電子,這些電子的能量大體上處于 10~500電子伏,它們的平均自由程很短,大約為5~20埃,因此俄歇電子能譜所考察的只是固體的表面層。俄歇電子能譜通常用電子束作輻射源,電子束可以聚焦、掃描,因此俄歇電子能譜可以作表面微區分析,并且可以從熒光屏上直接獲得俄歇元素像。它是近代考察固體表面的強有力工具,廣泛用于各種材料分析以及催化、吸附、腐蝕、磨損等方面的研究。


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