市場上最新、最先進的射頻發生器

射頻發生器從2MHz到100MHz，功率從100W到10kW，帶有頻率調諧、脈沖和操作面板

使用最新LDMOS器件， 到達最穩定的射頻性能

滿足大多數需求的靈活用戶界面

高級功能是標準配置！

采用最新的LDMOS場效應管技術，可在半導體和工業鍍膜應用中的極端動態負載下可靠工作。

擁有廣泛的功率和頻率范圍，允許用戶在一個平臺內滿足您的所有需求。

可在廣泛的配置（2, 13, 27，40和60MHz；100W至10kW），并配備了行業領先的組件和子組件，我們射頻發生器最大限度地提高可靠性和產量。

從高穩定射頻平臺提高過程控制

可靠性穩健設計，縮短停機時間

易于集成和控制

特征：

高穩定射頻

?頻率調諧

?電弧管理

?脈沖

?CEX主/從

?CEX相移

?前操作面板

?射頻功率放大

射頻發生器產品范圍：

從毫瓦到幾十千瓦的固態

射頻管設計從1000W---200kW

頻率范圍高達350MHz

集成固態和管設計

交直流電源設計

高壓、大功率

單相和三相設計

模擬電路設計

控制電路、故障檢測、計量等。

信號調節

遙控接口

專用硬件設計

特定于系統的自定義軟件設計

機械包裝

自定義CAD/CAM設計

快速成型

應用的設備：

PECVD設備

?PVD/磁控濺射機

?刻蝕設備

?工業鍍膜

射頻發生器的主要用戶：

65kW CW，211MHz，水冷四極管放大器，

--------布魯克海文國家實驗室（BNL），國家同步加速器光源（NSLS）。

55kW CW，176MHz，水冷四極放大器，

-------杜克大學，自由電子激光器（FEL）

4kW CW，52MHz，水冷固態放大器，

-------布魯克海文國家實驗室（BNL），國家同步加速器光源（NSLS）

12個3.5kW CW，196MHz，水冷固態放大器

-------布魯克海文國家實驗室BNL，相對論重離子對撞機（RHIC）

11個500W寬帶、1-30MHz、水冷、“A”級射頻放大器，

------布魯克海文國家實驗室（BNL）相對論重離子對撞機（RHIC）

6個20kW長脈沖，402MHz，風冷四極放大器

------勞倫斯伯克利國家實驗室（LBNL）散裂中子源（SNS）

3個80kW長脈沖，2MHz，風冷四極放大器

-----LBL（SNS）和橡樹嶺國家實驗室（ORNL）的（SNS）

8kW CW，211MHz，水冷固態放大器

------布魯克海文國家實驗室（BNL），國家同步加速器光源（NSLS）

2kW CW，200MHz，風冷固態放大器-------康奈爾大學

20kW CW，27MHz，風冷固態，移動射頻發生器-------KAI技術公司

25kW CW，18-32MHz，自動調諧，水冷，四極射頻放大器，

------------Joint Institute for Nuclear Research (JINR),，（FlerovLab）

15kW CW，11-12MHz，自動調諧，水冷，三極射頻放大器

-------------Joint Institute for Nuclear Research (JINR),（FlerovLab）

4個雙300W輸出，88-108MHz，用于調頻發射機-----NAVAIR Spiral 3項目

12kW CW,101MHz水冷三極射頻放大器---------華中科技大學

100kW CW，1.0MHz，水冷，四極射頻放大器------華中科技大學

45kW CW，7.2至10.5MHz, 水冷，三極射頻放大器--------JINR（弗萊羅夫實驗室）

15kW CW，寬帶（35-65MHz），固態，水冷射頻放大器--------印度ITER

120kW CW，48MHz，水冷，四極射頻放大器-------印度的IUAC

30kW CW，97MHz，水冷，三極管射頻放大器-----印度的IUAC

3kW CW，13.56射頻放大器和匹配網絡----印度IPR