飛(fei)行(xing)時間二次離子質譜

飛行時間(jian)二次離子(zi)質譜（TOF-SIMS)是一種非(fei)常靈敏(min)的表(biao)面分(fen)析(xi)技術。可以(yi)廣泛應用于(yu)物理，化學，微(wei)電子(zi)，生物，制藥，空間(jian)分(fen)析(xi)等工業和研究方(fang)面。TOF-SIMS可以(yi)提(ti)供表(biao)面，薄膜，界面以(yi)至于(yu)三維(wei)樣品的元素，分(fen)子(zi)等結構(gou)信息(xi)。

技(ji)術參數：
. 并行探測所有離子(zi)，包括有機(ji)和無機(ji)分子(zi)碎片(pian)。
. 無(wu)限的質量(liang)(liang)探測范圍（實際測量(liang)(liang)中大于1000m/z 原子量(liang)(liang)單位）。
. 完全透過率下實現高的質(zhi)量分辨率。
. 極(ji)高(gao)的橫向和縱(zong)向空(kong)間(jian)分(fen)辨率（橫向小于(yu)(yu)100納米(mi)(mi)，縱(zong)向小于(yu)(yu)1納米(mi)(mi)）。
. 探測靈(ling)敏(min)度可(ke)達ppm或ppb量(liang)級。
. 質量探測分辨率(lv)(M/ΔM) >1000
. 質量探測準(zhun)確度 ≥20 milli 質量單位(wei)
. 反射(she)性(xing)分(fen)析器
. 5 分鐘樣品腔真空度可從大氣環境達到真空工作環境