飛行時間二次離(li)子質(zhi)譜

飛行(xing)時間二(er)次離子(zi)質譜（TOF-SIMS)是(shi)一(yi)種非常靈敏的表(biao)面分(fen)析技(ji)術。可以(yi)廣泛應用于物理(li)，化學，微(wei)電(dian)子(zi)，生物，制藥，空間分(fen)析等工業和研究方面。TOF-SIMS可以(yi)提(ti)供表(biao)面，薄(bo)膜，界面以(yi)至于三維樣品(pin)的元素，分(fen)子(zi)等結構信息(xi)。

技術參數：
. 并行探測所(suo)有(you)離子，包括(kuo)有(you)機和(he)無機分子碎(sui)片。
. 無限的質量(liang)探測范圍（實際測量(liang)中大于(yu)1000m/z 原子(zi)量(liang)單位）。
. 完全透過(guo)率下實現高(gao)的(de)質量分辨(bian)率。
. 極高的橫向(xiang)和縱(zong)(zong)向(xiang)空間分(fen)辨率（橫向(xiang)小于(yu)100納米，縱(zong)(zong)向(xiang)小于(yu)1納米）。
. 探測靈敏度可達ppm或ppb量級。
. 質(zhi)量探(tan)測分辨率(M/ΔM) >1000
. 質量探測準確度 ≥20 milli 質量單位(wei)
. 反(fan)射性分析器
. 5 分鐘(zhong)樣品腔真(zhen)空度可從大氣環(huan)境(jing)達到真(zhen)空工作環(huan)境(jing)