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光刻系統

  • MDA-400M-6
MDA-400M-6

MDA-400M-6

MDA-400M-6光刻機
光刻機又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統,光刻機,紫外曝光機等;
MIDAS為全球領先的半導體設備供應商,多年來致力于掩模對準光刻機和勻膠機研發與生產,并且廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領域;該公司是目前世界上最早將光刻機商品化的公司之一,擁有雄厚的技術研發力量和設備生產能力;并且其設備被眾多著名企業、研發中心、研究所和高校所采用;以優秀的技術、精湛的工藝和良好的服務,贏得了用戶的青睞。

產地:韓國MIDAS公司,唯一能做到圖形化藍寶石襯底(PSS)光刻機,高性價比
型號:MDA-400M-6光刻機
廠家鏈接:http://www.midas-china.com.cn/

MDA-400M-6

易于(yu)操作(zuo)和安裝,處理各種尺寸(cun)的基板,PLC操作(zuo),PC控制

?手動操作

?掩模版尺寸(cun)高達7英寸(cun)

?基板尺寸為6英寸圓形

?均勻光束尺寸6.25*6.25英(ying)寸

?光源:紫外線燈(deng),350 W

?光束波長350~450 nm

?光束均勻(yun)性<±3%

?365 nm強(qiang)度~25 mW/?

?手(shou)動(dong)對準

?對(dui)準精度1 um

?操作模(mo)式(shi):軟、硬、真空接(jie)觸和(he)接(jie)近(jin)

?工藝分(fen)辨率1 um@1 um PR厚(hou)度,真空接觸

?重(zhong)量(liang)(kg)150

?尺寸(mm)1080(寬)*1060(深)*1580(高(gao))



上一個:MDA-400LJ/600LJ 下一個:MDA-600S光刻機

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