MDA-20SA
操(cao)作簡單,可編程控制器(PLC)操(cao)作,PC控制,圖像采集和數據記(ji)錄,100多個程序(xu)配(pei)方(fang),電(dian)動操(cao)縱桿控制,電(dian)動變(bian)焦顯(xian)微鏡和工作臺(tai),顯(xian)微鏡位(wei)置控制系統
操縱桿控(kong)制,半自動
掩模版尺寸(cun)規格,用戶訂制
基板尺寸規格(大面積),用戶訂制
均勻(yun)光束規格(ge),用戶訂制
紫(zi)(zi)外線光源(yuan):紫(zi)(zi)外線燈(deng),5 kW
光束波長350~450 nm
光(guang)束均勻度<±7%
365 nm強度5 kW: ~45 mW/?
對準方法(fa):操縱手(shou)柄控制半自(zi)動
對準精度1 um
工藝模式(shi):軟、硬、真空(kong)接觸和(he)接近
分辨率:透鏡 >3 um,反射鏡:>9 um
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