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SPIN-4000A勻膠機SPIN-4000A勻膠機

SPIN-4000A勻膠機

勻膠機
勻膠機有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,既在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。勻膠機可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。

由我司(si)提供的勻(yun)膠機(ji),在高校、研究所及半導體產業(ye)享有很高的聲譽,相(xiang)信能(neng)滿足您多(duo)種不同應(ying)用要求。


產地:韓國MIDAS公司,
型號:SPIN-4000A

廠家鏈接:http://www.midas-china.com.cn/


SPIN-4000A

觸摸屏控制,可編程配方管理,操(cao)作簡單,采用排(pai)(pai)液(ye)(ye)、排(pai)(pai)液(ye)(ye)孔、分液(ye)(ye)器

?勻膠機

?基板尺寸:6~12英(ying)寸

?轉速(su):300~5000 rpm(空載時),誤差小(xiao)于(yu)3%

?菜單(dan)程序:20步,20個配方(fang)

?卡盤(pan)材料:陽極氧(yang)化鋁、縮(suo)醛

?碗(wan)尺寸(cun)(cun):18英寸(cun)(cun)

?碗(wan)材料:不銹(xiu)鋼

?自動注(zhu)射功能:選配(pei)


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