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SPIN-4000A勻膠機SPIN-4000A勻膠機

SPIN-4000A勻膠機

勻膠機
勻膠機有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,既在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。勻膠機可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。

由(you)我司提供(gong)的(de)勻膠(jiao)機,在高校、研究所及半導(dao)體產業享(xiang)有很高的(de)聲譽,相信能滿足您多(duo)種不同(tong)應(ying)用要求。


產地:韓國MIDAS公司,
型號:SPIN-4000A

廠(chang)家鏈接:http://www.midas-china.com.cn/


SPIN-4000A

觸摸(mo)屏控制,可編程配方管理,操(cao)作(zuo)簡單,采用(yong)排(pai)液、排(pai)液孔、分液器

?勻(yun)膠機

?基板(ban)尺(chi)寸:6~12英寸

?轉(zhuan)速(su):300~5000 rpm(空載時(shi)),誤差(cha)小(xiao)于3%

?菜單(dan)程序(xu):20步(bu),20個配方

?卡盤材料:陽極氧(yang)化鋁、縮醛(quan)

?碗(wan)尺寸:18英寸

?碗材料:不(bu)銹鋼

?自動注射功能:選配


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