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PL SERIES
Midas推(tui)出了一(yi)種(zhong)臺式、獨立的納米(mi)壓印平臺：PL系列PL 200/400/600。該平臺提(ti)供了一(yi)個帶(dai)有微定位(wei)裝(zhuang)置的機械平臺，用(yong)于(yu)安裝(zhuang)納米(mi)壓印室、UV固化源和校準(zhun)顯微鏡(jing)。它既可(ke)以(yi)(yi)作為納米(mi)壓印系統(tong)，也可(ke)以(yi)(yi)作為傳統(tong)的掩模對準(zhun)器，同時為您的整個壓印過(guo)程提(ti)供可(ke)編程的自動控制。
?基板尺寸 PL 200:2英寸，PL 400:4英寸，PL 600:6英寸（尺寸較小，形狀不規則）
?壓印面積(ji)與(yu)晶圓尺寸相同
?模板尺寸 PL 200:2，1英寸，PL 400:4，3，1英寸，PL 600:6，4，2，1英寸
?壓印壓力1 psi標準
?包(bao)括模(mo)具/基板(ban)自(zi)動釋放-無(wu)需(xu)特殊(shu)工具
?95%強度(du)水(shui)平下的紫(zi)外線(xian)照射(she)時間2~3分鐘(zhong)
?對準能力X、Y、Z和θ（精度2μm）
聯系人：張垚
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