PL SERIES

Midas推出(chu)了一(yi)種臺(tai)式、獨立的(de)納(na)米(mi)壓(ya)印(yin)(yin)平(ping)臺(tai)：PL系(xi)列PL 200/400/600。該平(ping)臺(tai)提供(gong)了一(yi)個帶有(you)微定位裝(zhuang)置的(de)機(ji)械平(ping)臺(tai)，用(yong)于安裝(zhuang)納(na)米(mi)壓(ya)印(yin)(yin)室、UV固化源和校準顯(xian)微鏡。它(ta)既(ji)可以(yi)(yi)作(zuo)為納(na)米(mi)壓(ya)印(yin)(yin)系(xi)統(tong)，也(ye)可以(yi)(yi)作(zuo)為傳統(tong)的(de)掩模(mo)對準器(qi)，同(tong)時為您(nin)的(de)整個壓(ya)印(yin)(yin)過程(cheng)提供(gong)可編程(cheng)的(de)自動控制(zhi)。

?基板尺寸 PL 200:2英寸，PL 400:4英寸，PL 600:6英寸（尺寸較小，形狀不規則）

?壓印面積與晶圓(yuan)尺寸相(xiang)同(tong)

?模板尺寸  PL 200:2，1英寸，PL 400:4，3，1英寸，PL 600:6，4，2，1英寸

?壓印壓力1 psi標(biao)準

?包括模具/基(ji)板自動釋(shi)放-無需特殊工具

?95%強(qiang)度水(shui)平下的紫外線照(zhao)射時間2~3分(fen)鐘

?對準能力X、Y、Z和θ（精度2μm）