PL SERIES

Midas推出了(le)一種臺(tai)式、獨立的(de)(de)納(na)米(mi)(mi)壓(ya)印(yin)平(ping)臺(tai)：PL系列PL 200/400/600。該平(ping)臺(tai)提(ti)供了(le)一個帶有微定(ding)位裝置(zhi)的(de)(de)機械平(ping)臺(tai)，用于安裝納(na)米(mi)(mi)壓(ya)印(yin)室、UV固化源和(he)校準(zhun)顯微鏡(jing)。它既可(ke)以作為納(na)米(mi)(mi)壓(ya)印(yin)系統(tong)，也(ye)可(ke)以作為傳統(tong)的(de)(de)掩模對準(zhun)器，同時(shi)為您(nin)的(de)(de)整個壓(ya)印(yin)過程提(ti)供可(ke)編程的(de)(de)自動控制。

?基板尺寸 PL 200:2英寸，PL 400:4英寸，PL 600:6英寸（尺寸較小，形狀不規則）

?壓印面積與晶圓尺寸相(xiang)同

?模板尺寸  PL 200:2，1英寸，PL 400:4，3，1英寸，PL 600:6，4，2，1英寸

?壓(ya)印壓(ya)力1 psi標準

?包括模具/基板(ban)自動釋(shi)放-無(wu)需特(te)殊(shu)工具

?95%強度水平下的紫外線照射時間2~3分鐘

?對準(zhun)能力X、Y、Z和θ（精度(du)2μm）